米兰-上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题

2026-05-30 23:56:16

近日，依托2030新一代人工智能国度科技庞大专项整体部署，上海人工智能试验室（上海AI试验室）结合厦门年夜学、姑苏国度试验室等互助单元构建了“AI决议计划+主动化合成”的闭环研发系统，实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。

这一冲破使高端光刻胶树脂的不变制备再也不依靠在少少数外洋供给商的“黑箱能力”，为全世界芯片质料范畴摸索出一条可尺度化、快速迭代的新路径。

据“上海人工智能试验室”先容，今朝，上述平台已经支撑多批次主动化合成与机能验证，批次间一致性获得显著晋升。此中，厦门恒坤新质料科技株式会社基在光刻胶配方开发经验，完成为了树脂适配，财产要害指标均达预期，后续将进入客户端验证阶段。

光刻胶作为芯片制造的焦点质料之一，其质量直接影响芯片的机能及制品率。然而，当前全世界高端氟化氪（KrF）光刻胶树脂相干技能与市场持久集中于少数外洋企业手中，致使供给链面对高度依靠、质料成本居高不下、难以满意定制化及快速相应需求等场合排场。

结合团队研发了面向进步前辈质料光刻胶树脂设计的智能化合成平台，并构建起一套“决议计划-互联-履行-迭代”的智能化研发系统。

该系统以智能化合成平台为物理履行基础，倾覆了传统试验室依靠人工操作的粗放研发模式，实现了从液体精准转移、惰性氛围掩护到多级主动化后处置惩罚的全流程闭环运行；可将制品树脂金属杂质含量不变节制于10ppb如下，同时严酷把控份子量漫衍，PDI指标不变节制于1.3如下。

此外，依托上述智能化研发系统，研发团队于KrF光刻胶树脂配方优化、工艺调控、纯度管控等方面开展体系性攻关，各项焦点机能指标均到达预设方针，为后续财产化运用堆集了焦点技能与实践经验。

-米兰

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